Zacharias và Haus Janssen là hai nhà quang học cha truyền con nối, đặt hai thấu kính vào một ống tạo một kính vi phẫu hỗn hợp vào năm 1590. Sau đó Anton Von Lewenhock là người Đức đầu tiên đưa ra một kính vi phẫu không hoàn chỉnh. Ông cũng tạo ra được một vật kính có độ phóng đại đến 270 lần. Sau đó, nhà chế tạo máy người Đức tên Carl Zeiss hoàn chỉnh tính năng kính vi phẫu với chất lượng cao và sản xuất với số lượng lớn. Bệnh viện Chợ Rẫy, khoa phẫu thuật thần kinh bắt đầu sử dụng kính vi phẫu thường quy từ tháng 3 năm 1997 trong các bệnh lý u não và mạch máu não đem lại hiệu quả rất cao và đáng khích lệ.